题目描述
对于一个非空集合 $\{a_i\}$，我们称一个集合是 magical 的，当且仅当它满足以下两个条件。

1. $a_1 \mathbin{\&} a_2 \mathbin{\&} \cdots \mathbin{\&} a_n=0$（$\&$ 表示按位与）；
2. $\{a_i\}$ 的任意一个非空真子集不满足 (1)。

小 A 有一个很大很大的集合。很显然这个集合的子集数量是一个天文数字。

小 A 现在想要知道这个集合的 magical 的非空子集数量是多少。
为了防止不必要的麻烦，请将答案模 $10^9+7$ 后输出。

输入格式
第一行一个整数 $T$ 表示数据组数。
接下来每组数据第一行一个整数 $n$，表示集合元素数量。
第二行 $n$ 个整数，表示这个集合中的元素。

输出格式
输出共 $T$ 行，每行对应这组数据的答案。

样例 1
输入

1
5
0 1 2 4 4

输出

6

$6$ 个 magical 的集合是 $\{0\},\{1,2\},\{1,4\},\{1,4\},\{2,4\},\{2,4\}$。

样例 2
输入

30
30
28 11 8 96 92 16 114 126 47 77 82 88 120 46 56 74 113 23 72 126 109 26 24 62 96 110 89 6 32 28
...

输出

486
876
719
472
563
863
597
849
742
910
679
998
661
727
672
707
509
696
632
732
699
562
722
485
517
464
605
901
846
900

数据范围与提示
对于前 $10\%$ 的数据，$n\leq 20$；
对于前 $30\%$ 的数据，$n\leq 30$；
对于前 $60\%$ 的数据，$0\leq a_i<128,T=1$；
对于前 $80\%$ 的数据，$0\leq a_i<256,T\leq 5$；
对于前 $100\%$ 的数据，$T\leq 30,n\leq 100,0\leq a_i<512$。

据说此题是埃及信息竞赛题。